在使用各类分析仪器时，我们会用到高纯气体（如高纯氮气、高纯氦气、高纯氢气等）作为载气，也会用到不同组分的标准气体。其中，虽然高纯气体不直接作为测量样品组分浓度的衡量工具，但是，因为分析仪器的高精密特点和实验结果的高准确度要求，这些高纯气体的纯度也会直接影响分析结果。法液空Alphagaz实验室气体有99.999%和99.9999%的纯度，极大程度减少杂质。

在高纯气体中，主要的杂质有水分、氧气和碳氢化合物。