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四氟化碳(CF4 Tetrafluoromethane;Carbon Tetrafluoride) CAS:75-73-0
項目 指標純度%
四氟化碳(四氟甲烷 cf4) 99.999% 99.9997% 99.99994%
雜質含量 氮氣 ﹤5ppm ﹤1ppm
氧氣 ﹤2ppm ﹤0.5ppm ﹤100ppb
氬氣 ﹤20ppb
氫氣 ﹤0.5ppm ﹤100ppb
總烴 ﹤1ppm ﹤0.1ppm ﹤50ppb
一氧化碳 ﹤1ppm ﹤0.1ppm ﹤50ppb
二氧化碳 ﹤1ppm ﹤0.25ppm ﹤100ppb
﹤2ppm ﹤1ppm ﹤200ppb

*注:產品參數僅供參考,在保證產品純度下,供方有可能根據原料參數變化而改變產品的參數,不再另行通知
包 裝:
采用GB 鋼瓶或DOT鋼瓶,也可分裝。
主要用途:
在常溫下 , 四氟化碳是無色、無臭、不燃的可壓縮性氣體,揮發性較高,是最穩定的有機化合物之一,在 900 ℃時,不與銅、鎳、鎢、鉬反應,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體 ,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
化學品安全技術說明書(MSDS)下載: 四氟化碳

四氟化碳四氟化碳優質供應商——佛山科的公司

四氟化碳擴展閱讀
四氟化碳化學性質    四氟化碳作為電子氣體,相對分子量88.00。在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,揮發性較高,是最穩定的有機化合物之一,不易溶于水。在900℃時,不與銅、鎳、鎢、鉬反應,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生有毒氟化物。 四氟化碳在電子行業的應用      四氟化碳,閱讀全文


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