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四氟化碳(CF4 Tetrafluoromethane;Carbon Tetrafluoride) CAS:75-73-0
项目 指标纯度%
四氟化碳(四氟甲烷 cf4) 99.999% 99.9997% 99.99994%
杂质含量 氮气 ﹤5ppm ﹤1ppm
氧气 ﹤2ppm ﹤0.5ppm ﹤100ppb
氩气 ﹤20ppb
氢气 ﹤0.5ppm ﹤100ppb
总烃 ﹤1ppm ﹤0.1ppm ﹤50ppb
一氧化碳 ﹤1ppm ﹤0.1ppm ﹤50ppb
二氧化碳 ﹤1ppm ﹤0.25ppm ﹤100ppb
﹤2ppm ﹤1ppm ﹤200ppb

*注:产品参数仅供参考,在保证产品纯度下,供方有可能根据原料参数变化而改变产品的参数,不再另行通知
包 装:
采用GB 钢瓶或DOT钢瓶,也可分装。
主要用途:
在常温下 , 四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在 900 ℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体 ,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
化学品安全技术说明书(MSDS)下载: 四氟化碳

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四氟化碳化学性质    四氟化碳作为电子气体,相对分子量88.00。在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,不易溶于水。在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。 四氟化碳在电子行业的应用      四氟化碳,阅读全文


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