组分名称及浓度范围

平衡气

H₂ 100ppm ~ 4%

N₂

HCl  5%

He

HCl 5%   H₂ 1%

He

HCl  1~5%

N₂

SiH₄ 10ppm ~ 15%

H₂、N₂、Ar、He

PH₃  10ppm ~ 15%

H₂、N₂、Ar、He

B₂H₆  10ppm ~ 15%

H₂、N₂、Ar、He

AsH₃  10ppm ~ 15%

H₂、N₂、Ar、He

HCl  10ppm

N₂、He

包　装:2-40（升）瓶装，标准充装压力：10MPa。荣获国家制造计量许可证，国家标准物质定级证书，制造计量器具许可证并获得广东省省级重点新产品证书。